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激光混合氣中的發生氣體是激光發生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。激光切割領域較長使用的二氧化碳激光混合氣體，這里二氧化碳就是產生激光作用的主導氣體。二氧化碳激光混合氣體目前存在切割線粗，毛邊多，并且切割鋼板的厚度很有限，一般都在10mm左右。

準分子(Excimer)激光：準分子一詞的本意，是「兩個同種原子組成，而只存在于受激態的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術語。現在現已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態，只以受激態出現的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。CO2激光輔助鼓膜成形術的總體滿意，與傳統手術相比，該手術方式具有操作簡便、創傷小、且可重復進行的優點。銅蒸汽激光產品可發生100W以上的綠光(511 nm)及黃光(578 nm)，金蒸汽激光則可得數十瓦的紅光 (628 nm)。這兩種激光有很多用途，例如血紫質衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光譜的峰值約為628 nm，而癌細胞能吸收此物質。此物質受到628 nm的激光光照耀后會分化，發生可癌細胞的物質。不過，銅蒸汽激光激起染料激光，也可得到這種光，而不必依托金蒸汽激光。此外，578 nm的激光能夠除去某些胎記，作用優于用氬離子激光。

氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發射的不穩定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。 銅蒸汽激光產品可發生100W以上的綠光(511 nm)及黃光(578 nm)，金蒸汽激光則可得數十瓦的紅光 (628 nm)。這兩種激光有很多用途，例如血紫質衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光譜的峰值約為628 nm，而癌細胞能吸收此物質。此物質受到628 nm的激光光照耀后會分化，發生可癌細胞的物質。不過，銅蒸汽激光激起染料激光，也可得到這種光，而不必依托金蒸汽激光。此外，578 nm的激光能夠除去某些胎記，作用優于用氬離子激光。稀有氣體離子激光中，以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外，氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。

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